Thành lập trên cơ sở điều chỉnh 1.079,15 ha diện tích tự nhiên và 1.487 nhân khẩu của Xã Hòa Lợi (phần diện tích và nhân khẩu của Xã Hòa Lợi thuộc Huyện Bến Cát điều chỉnh về thị Xã Thủ Dầu Một); 785,10 ha diện tích tự nhiên và 3.469 nhân khẩu của Xã Phú Chánh (phần diện tích và nhân khẩu của Xã Phú Chánh thuộc Huyện Tân Uyên điều chỉnh về thị Xã Thủ Dầu Một); 634,50 ha diện tích tự nhiên và 196 nhân khẩu của Phường Định Hòa; 350 ha diện tích tự nhiên và 250 nhân khẩu của Phường Phú Mỹ; 1.500 nhân khẩu của khu Liên hợp công nghiệp – dịch vụ - đô thị.